극저온 냉각기로 구성된 냉각면 (배플과 흡착판)을 사용하여, 각 기체의 Boiling point 이하로 냉각함으로써 다음 3가지 메커니즘으로 기체를 제거합니다.
기체 제거 방식 | 대상 기체 | 원리 |
응축 | H₂O, CO₂, O₂, N₂, Ar 등 | 극저온 표면에 액화 또는 고체로 부착 |
흡착 | H₂, He, Ne 등 | 흡착재 (활성탄/제올라이트)에 물리흡착 |
트랩핑 | 혼합기체 | 배플에 충돌 후 내부 저온부에 유도 |
※ 냉동기의 1단은 약 80K, 2단은 10K 이하까지 냉각되어 단계별로 기체 포집