1. 공기 압축 및 정제
- 주변공기 → 압축 → 필터링 (먼지, 수분, 오일 제거) → 냉각
- 필요시 PSA (Pressure Swing Adsorption) 또는 막 분리 방식으로 질소 정제
2. 질소 액화
- 고순도 질소 (≥99.99%)를 극저온 냉동기 (GM 또는 PT 타입)로 냉각
- 질소의 액화점 -196℃까지 온도를 떨어뜨려 액화
3. 저장 및 공급
- 액화된 질소를 진공단열 저장탱크 (Dewar 또는 내부탱크)에 보관
- 탱크 내부 압력 유지 및 사용 라인 연결 가능